材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目

招标信息 2022-10-18 | 人围观

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材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目
项目所在采购意向：	中山大学2022年11至6月政府采购意向
采购单位：	中山大学
采购项目名称：	材料学院多腔室超高真空磁控溅射镀膜机采购项目
预算金额：	580.000000万元(人民币)
采购品目：	A02100599其他试验机
采购需求概况：	拟采购1台多腔室超高真空磁控溅射镀膜机。1) 3个独立工作沉积腔室及2个互联仓室，各腔室独立抽真空，每个沉积腔室各配装2支Ф6英寸的磁控溅射靶，3个腔室中，2个RF源，1个DC源；各沉积腔室配备Ar, O2, N2, H2(或H2O)气路；2)配置 1个进样室，1个出样室，独立抽真空；3) 样品尺寸可至6英寸，全面积均匀性优于±3%，重复性优于±3%；4) 衬底加热温度最高到500℃；5) 极限真空度≦5×10-7 Torr；6)全自动控制系统，各腔室并行独立运行，可远程操作。交付时间：2023年交付地点要求：深圳校区售后服务要求（含培训）：整机保修2年，现场安装培训和软硬件全面应用培训；免费技术咨询。
预计采购时间：	2022-11
备注：