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| 申购单主题： | 单温区CVD管式炉（低压/常压工艺） | 申购单位： | ******院 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | ******类型 |
| 单温区CVD管式炉（低压/常压工艺） | 科幂 | TFH-***-***-***（******理装置） | 1 | ******/人民币 |
| ****** | 需要签订采购合同，供应商需按要求提供保函。 | |||
| 规格 | 单温区CVD管式炉，技术参数如下：工作温度 最高温度: ***℃ （******发生形变）工作温度: ***℃推荐升温速率:≤ 10℃ /min控温精度 ±1℃******尺寸 Φ***（外）x***mm（其他可定制）炉膛尺寸 Φ***x***mm加热区 加热区长度: ***mm恒温区长度: ***mm （±3℃）控制方式 PID控制和自整定调节功能 智能化30段可编程控制 具有超温及断偶报警功能K型热电偶 ******装PC******（需另购） 密封系统 不锈钢密封法兰（包括***L针阀、真空机械压力表、******接头）加热元件 北京首钢HRE额定功率 3KW额定电压 单相 AC***V 50/60HZ外形尺寸（长*宽*高） ***x***x***mm 配有机械泵以满足低压生长工艺（机械泵最低气压不高于10-4 torr）******理参数需求： 系统承受最低气压不低于10-4 torr ******理装置，可在低压生长工艺结束后关闭机械泵及阀门，******气路。 | |||
| 中标供应商 | ****** | 初选理由 | ||
| ******司 | *** | ******原则 |
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